Horno de túnel limpio para la industria de semiconductores

El horno de túnel limpio para la industria de semiconductores es un equipo de calentamiento y manipulación diseñado específicamente para el proceso de fabricación de semiconductores. Combina el procesamiento a alta temperatura con los requisitos de un entorno altamente limpio para cumplir con los estrictos estándares de limpieza y control de precisión en la producción de chips semiconductores.

Características del equipo

1. Sistema de calentamiento: calentamiento por infrarrojos lejanos, alto efecto de radiación, mayor velocidad de calentamiento, distribución razonable de los tubos de calentamiento, control independiente de cada zona de temperatura, según las necesidades del proceso de la temperatura de la sección de calentamiento.

2. Sistema de control de temperatura: PLC + control de pantalla táctil de resolución, utilizando calentador de control de salida de pulso, SSR, para evitar el impacto de la corriente instantánea, fluctuaciones de control de temperatura y otros impactos, con termostato de salida DC24V, que puede hacer que el voltaje de salida sea suave, el efecto de control de temperatura es más estable, la temperatura es más precisa, con autoajuste PID, termostato automático, la temporización automática puede ser más que el valor establecido de la temperatura, el corte automático de la calefacción Cuando la temperatura excede el valor establecido, cortará automáticamente la energía de calefacción y la alarma de sonido y luz.

3. Aislamiento del equipo: aislamiento de lana de roca de silicato de aluminio encriptado 100K, la caja exterior básica para mantener la temperatura normal de la habitación, la temperatura ambiente tiene menos impacto.

4. Protección de seguridad: protección contra fugas, protección de línea, protección contra cortocircuitos, protección contra sobrecarga, protección contra sobretemperatura.

5. Según las necesidades de producción, se puede equipar con un filtro de alta eficiencia resistente a altas temperaturas, grado de limpieza CLASE 1000.

6. Transporte: Se puede seleccionar transporte con correa de malla de teflón, correa de malla de acero inoxidable o cadena de placas según la necesidad, y la velocidad de transporte se puede ajustar mediante conversión de frecuencia.

7. El interior del cuerpo del horno está hecho de placa de acero inoxidable SUS304# para mantener limpio el interior del horno, y la superficie del equipo está tratada con pintura para hornear.

8. Admite seguimiento de código de producto y sistema MES (opcional).

Aplicaciones

El horno de túnel limpio se utiliza ampliamente en la industria de fabricación de semiconductores, especialmente en la fabricación, el empaquetado y las pruebas de chips, entre otros eslabones clave. Desempeña un papel importante en la mejora del rendimiento de los chips semiconductores, la reducción de los costos de producción y el acortamiento del ciclo de producción.